一、仪器外表：
   1. 先用干细棉布或擦拭纸擦拭仪器外表，以擦拭其灰尘或油污等，小心注意其仪器外表勿受伤。
   2. 再用干净细干棉布沾上工业用酒精，擦拭仪器外表，尤其金属及非金属表面。
二、仪器表面：
   1. 再用干净细干棉布沾上工业用酒精，擦拭花岗岩外表面，酒精具挥发性会自然蒸发。
   2. 先用干细棉布或擦拭纸擦拭花岗岩表面，以擦拭其灰尘或测量后机件的油污等。
   3. 必要时，可使用花岗岩保养油再擦拭。
三、仪器镜面：
   1. 再用棉花棒沾工业用酒精，轻轻擦拭镜面表面，并需等酒精挥发后，再装回去。
   2. 镜面擦拭可区分成校正玻璃片及镜头内透镜组，由于灰尘粒子会造成成像的黑点，镜面擦拭至为重要，装置后需重新借着影像观察擦拭结果。
   3. 先用拭镜纸轻轻擦拭镜面表面，勿用力以免伤及镜面。
四、仪器传动部分：
   分干磨擦部分及润滑部分，干磨擦部分又有气浮轴承及无牙丝杆传动机构之区分。